真空自耗電弧爐是目前世界上熔煉鈦、鋯等稀有金屬的主要設備，由于其在真空下能有效的降低金屬及其合金中的氣體含量，更準確的控制化學成分，改善鑄錠的質(zhì)量等優(yōu)勢，因而被廣泛應用。

 

 

①檢漏儀要工作必須使檢漏儀內(nèi)部真空系統(tǒng)正常工作，因此檢漏儀機械泵8、分子泵1 和電磁閥V1 串聯(lián)工作，達到質(zhì)譜室所需要的高真空，滿足離子源可靠工作時即達到檢漏儀工作條件，即我們所說的自檢通過。

 

②滿足檢漏口14 達到1000 Pa 以下，由于真空自耗電弧爐容積約2~3m3，因此無法使用檢漏儀自身的真空泵進行爐室抽空，必須使用電弧爐的真空系統(tǒng)作為檢漏儀的輔助系統(tǒng)對其抽空，從而滿足檢漏口1000 Pa 以下的使用要求。